真空碳?xì)淝逑丛O(shè)備是由超聲波系統(tǒng)，真空脫氣系統(tǒng)，循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)，機(jī)械臂系統(tǒng)，真空干燥系統(tǒng)，真空蒸餾回收系統(tǒng)，HC濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，自動(dòng)滅火系統(tǒng)，電氣控制系統(tǒng)等組成。

與其他超聲清洗設(shè)備一樣，真空清洗設(shè)備中主要是利用超聲波空化效應(yīng)提高洗凈力,最基本的組成是：超聲波發(fā)生器，換能器和清洗槽。超聲頻率一般在25～40kHz，換能器由多個(gè)振頭并聯(lián)組成，電能被轉(zhuǎn)換成機(jī)械振動(dòng)能，并通過(guò)換能器傳遞到清洗槽中，使清洗液形成疏密相間的超聲波聲場(chǎng)，清洗液中的微氣泡（空化核）在聲場(chǎng)的作用下振動(dòng)、生長(zhǎng)和突然閉合，而在氣泡周圍產(chǎn)生極大的沖擊波，形成幾千到上萬(wàn)的大氣壓以及瞬時(shí)高溫，這就是超聲波的“空化”作用。

空化作用具有非常優(yōu)良的清洗和乳化作用，使油污脫離工件的表面，從而達(dá)到了快速、干凈的清洗。

在清洗過(guò)程中，清洗槽內(nèi)的液體殘存的氣體較多，含氣量通常是水的8~10倍，增強(qiáng)了超聲波傳播衰減，含氣的空化泡會(huì)降低空化強(qiáng)度，影響了超聲波的空化效應(yīng)和清洗效果。當(dāng)采用真空清洗時(shí)，清洗槽蓋會(huì)自動(dòng)關(guān)閉，真空脫氣系統(tǒng)啟動(dòng)，將槽內(nèi)空氣抽盡，在真空狀態(tài)下將盲孔、縫隙內(nèi)及清洗劑中的氣體抽出，超聲波啟動(dòng)，搖擺裝置啟動(dòng)，帶動(dòng)籃轉(zhuǎn)動(dòng)，到設(shè)定的清洗時(shí)間后，真空釋放，缸蓋自動(dòng)打開(kāi)，清洗籃進(jìn)入下一槽進(jìn)行碳?xì)湎到y(tǒng)洗凈。

真空碳?xì)淝逑礄C(jī)技術(shù)特點(diǎn)：

１）設(shè)置脫氣裝置，提高超聲波效果

液體在常壓下溶解有大量空氣，降低了超聲波的空穴強(qiáng)度，因而不能達(dá)到最佳清洗效果；

2）真空清洗干燥的優(yōu)點(diǎn)

被清洗零件進(jìn)入蒸汽清洗干燥槽后，干燥槽內(nèi)迅速形成真空，碳?xì)浠衔锓悬c(diǎn)下降，溶劑迅速蒸發(fā)，縮短了干燥時(shí)間，同時(shí)避免了熱風(fēng)干燥帶來(lái)的二次污染及不安全性，提高干燥效果。其優(yōu)點(diǎn)如下：

（1）能吸出盲孔、狹縫以及零件之間的空氣，使清洗液容易流入，清洗能力大幅提高；
（2）清洗液經(jīng)脫氣后，超聲清洗效果更好；
（3）可以將清洗液加熱至閃點(diǎn)以上，使清洗液對(duì)污垢的溶解力倍增；
（4）在清洗工序中，利用高溫清洗液傳遞給被洗零件均衡的熱量，使干燥工序得以順利進(jìn)行；
（5）在真空狀態(tài)下，溶液沸點(diǎn)下降，蒸發(fā)速度加快；同時(shí)，因迅速形成真空，使附著在物體上的溶劑一同揮發(fā)。
（6）替代ODS，該技術(shù)可涵蓋傳統(tǒng)的氟里昂、三氯乙烷等清洗設(shè)備，清洗劑對(duì)塑膠材料無(wú)溶脹性，可安全用于精密馬達(dá)/塑膠制品的除油污清洗，尤其對(duì)有盲孔、狹縫或易疊加零件、沖壓件等設(shè)備清洗效果顯著，是目前替代ODS較為理想的清洗設(shè)備。

真空碳?xì)淝逑礄C(jī)是利用超聲波滲透力強(qiáng)的機(jī)械震動(dòng)力沖擊工件表面，并結(jié)合碳?xì)淝逑磩┑幕瘜W(xué)去污作用，在真空狀態(tài)下進(jìn)行全面清洗，使工件表面和盲孔、狹縫干凈。