隨著生產部件的清潔要求越來越嚴格，環境法規正在限制大型加工系統中常用的腐蝕性化學品的使用。生產線通常包括清潔步驟，為后續加工準備零件。清潔可能包括手動擦洗、壓力清洗和浸泡在熱化學浴中。現代產品通常包括熱敏組件、易碎傳感器和脆弱表面部件，這些部件可能會被傳統的清潔方法損壞。當這些方法包括浸泡在酸性混合物或有毒溶劑中時，按照當地法律法規處理變得越來越困難。
超聲波清洗系統是在不使用刺激性化學品的情況下去除需要清洗的部件或設備表面污染物的最佳選擇。清潔可以在室溫下進行，這個過程是完全安全的，不需要額外的操作人員安全措施。因此，超聲波清洗機可以很容易地集成到生產線上，無需特殊的支持設備，清潔工可以在沒有操作員監控的情況下工作。制造商希望在提高清潔站性能的同時減少昂貴和有毒化學品的使用，也可以集成到更大的處理系統中，以提供有效的解決方案。
如何將半導體加工與兆聲波清洗相結合
在半導體制造商使用的濕化學工作站中，一個區域的兆聲波清潔器被納入了一個更大的處理系統。半導體制造商通過蝕刻硅和沉積導電層來處理硅晶片，形成電子元件。晶片通常必須在工藝步驟之間清洗，以免被不必要的物質污染，不會干擾工藝。硅片通常在含有化學物質（如鹽酸、硫酸和過氧化氫）的浴缸中清洗。
清潔化學品是危險的、有毒的和昂貴的。他們需要化學輸送系統來填充使用過的化學混合物的清潔罐和處理系統。必須采取特殊措施來儲存化學品和操作人員的安全。化學品是半導體制造的主要費用。隨著當地司法管轄區環境標準的提高和工人安全法律法規的嚴格，使用化學品的成本越來越高。
將超聲波清洗系統納入半導體生產線，可以減少化學品的使用，提高清洗性能。化學清洗方法依靠浸泡和化學去除污染物，而兆聲清洗是機械的。
當聲波通過清洗溶液時，超聲波清洗系統的聲波會產生一個小的空化氣泡。氣泡在形成和破裂時的擦洗效果可以去除污染物并沖洗掉。這種清潔機制特別有效地去除可能導致半導體元件缺陷的小顆粒。結合超聲波清洗方法生產的硅晶片污染顆粒較少。
半導體制造業成功實施了使用超聲波清洗機而不是其他一些清洗方法。安裝超聲波清洗系統的設備可以通過降低化學品的使用和化學品的處置成本來節省資金。超聲波清洗通常比使用化學品更快，從而增加設施的吞吐量。使用超聲波清洗系統清洗的硅晶片顆粒數量將大大降低，從而降低缺陷部件，提高工藝率。一般來說，它降低了成本，提高了輸出質量。
